Thermo Apreo/Quattro EDS 能谱检测器（SDD）说明

Thermo Fisher Apreo 与 Quattro 场发射扫描电镜可配置 EDS 能谱分析系统（Energy Dispersive Spectroscopy），核心部件为 SDD 硅漂移探测器（Silicon Drift Detector），常见品牌含 Thermo Scientific Pathfinder 系列、牛津 Oxford X-Max 等。SDD 探测器由晶体（Crystal）、前置放大器（Preamplifier）、制冷系统（LN₂ 液氮或 Peltier 电制冷）、真空窗口（Window）组成，属整机贵重部件，更换成本高。

适用配件（中英文对照）：SDD 探测器晶体 Silicon Drift Detector Crystal / 前置放大器 Preamplifier Board / 探测器窗口 Detector Window（超薄聚合物窗 Ultra-Thin Polymer Window）/ 液氮杜瓦 LN₂ Dewar / 电制冷模块 Peltier Cooler / 高压偏置模块 HV Bias Module。零件编码以探测器铭牌为准，我司可代为核对。

症状一：无信号（No Signal / No Peaks）

故障表现：能谱图上无峰、零计数，或采集时提示 Detector Not Ready。

排查流程：① 检查探测器是否 Ready（温度是否达标，LN₂ 液氮是否耗尽或电制冷是否故障）；② 检查前置放大器供电与信号线；③ 检查探测器窗口是否破裂（Window Burst 报警）；④ 检查偏置电压（Bias）是否正常；⑤ 以上正常仍无信号，判定晶体或电路损坏。

处理：窗口破裂需更换窗口组件；电路故障需更换前置放大板；晶体损坏需整体更换 SDD 探测器，属大额配件。

症状二：计数率低（Low Count Rate）

故障表现：同条件下计数率明显低于出厂值，分析时间被迫延长，峰形变形。

排查流程：① 检查束流与工作距离（WD）设置；② 检查探测器窗口污染或氧化；③ 检查晶体温度漂移；④ 使用标准样品（Co 或 Cu 标样）验证。

处理：窗口污染可清洁或更换窗口；晶体性能衰减严重时需更换探测器。

症状三：分辨率变差（Poor Energy Resolution）

故障表现：Mn Kα 峰半高宽（FWHM）超标（SDD 正常应≤129eV @ Mn Kα），峰重叠严重。

排查流程：① 检查制冷温度是否达到（液氮型 -120℃以下，电制冷型 -35℃左右）；② 检查电子噪音（Ground Loop）；③ 检查晶体受污染或受辐射损伤；④ 做能量校准（Energy Calibration）。

处理：先做校准与降噪，无效则可能晶体老化，需更换探测器。

症状四：液氮/电制冷故障（Cooling Failure）

故障表现：液氮型：液氮消耗异常快、补液后温度仍不达标；电制冷型：报 Cooler Fault、温度波动、啸叫或过热。

排查流程：① 检查杜瓦真空度与保温；② 检查 Peltier 模块供电与风扇；③ 检查温控传感器。

处理：更换电制冷模块或温控板，液氮型检查杜瓦与密封。制冷故障长期运行会损坏晶体，需及时处理。

公司落款

东莞九安仪器（JAXLAB）专业提供扫描电镜 EDS 能谱检测器维修与更换服务，适用于 Thermo、Oxford、Bruker、EDAX 等品牌 SDD 探测器，正规注册企业，可开具增值税专用发票，原装正品保障。故障诊断请加微信：13926808972，提供探测器铭牌照片即可快速核对型号与报价。