Hitachi 扫描电镜真空系统说明

Hitachi SU3500/SU5000 扫描电镜真空系统由 机械泵（Rotary Pump）→ 分子泵（Turbo Molecular Pump）→ 离子泵（Ion Pump） 三级构成。镜筒高真空由离子泵维持（约 10⁻⁴–10⁻⁷ Pa），样品室由分子泵抽真空。分子泵与离子泵均为大额贵重部件，维修更换成本高，需专业操作。

适用配件（中英文对照）：分子泵 Turbo Molecular Pump（如 Edwards/Agilent/Pfeiffer 品牌）/ 分子泵控制器 Turbo Pump Controller / 离子泵 Ion Pump / 离子泵电源 Ion Pump Power Supply / 机械泵 Rotary Pump / 真空规 Vacuum Gauge（Pirani/离子规）/ 密封圈 O-ring 组件。零件编码以原厂备件手册为准。

症状一：真空抽不到/抽真空超时（Vacuum Not Reached）

故障表现：开机后真空长时间达不到工作值，软件报 Vacuum Timeout，无法加高压。

排查流程：① 检查机械泵是否运转正常（声音、油位）；② 检查分子泵转速是否达到额定值；③ 检查是否有漏气点（门密封、窗口、接头）；④ 检查真空规读数是否准确。

处理：先排查漏气，再检查泵体；分子泵性能衰减需维修或更换。

症状二：分子泵异响/转速异常（Turbo Pump Noise / Speed Fault）

故障表现：分子泵有摩擦声、啸叫或撞击声，转速不稳，报 Rotor Speed 故障。

排查流程：① 检查轴承是否磨损；② 检查泵体是否有异物；③ 检查控制器供电；④ 检查泵体温度是否过高。

处理：轴承磨损需更换轴承或整体更换分子泵，属大额维修，建议返厂或专业维修。

症状三：离子泵失效（Ion Pump Failure）

故障表现：镜筒真空缓慢上升、离子泵电流异常（过高或为0）、报 Ion Pump Error。

排查流程：① 检查离子泵电源高压输出；② 检查离子泵内部是否短路（陶瓷绝缘击穿）；③ 检查离子泵是否饱和（长时间大气暴露污染）。

处理：内部短路或污染需更换离子泵组件，更换后需烘烤去气。

症状四：漏气报警（Leak Alarm）

故障表现：真空反复波动、充气阀异常、某区域真空无法建立。

排查流程：① 用氦检漏仪定位漏点；② 检查各密封圈与法兰；③ 检查放气阀/充气阀是否关严；④ 检查窗口与检测器密封。

处理：更换密封圈、紧固法兰，漏点处理后再抽真空验证。

公司落款

东莞九安仪器（JAXLAB）专业提供扫描电镜真空系统维修服务，涵盖分子泵、离子泵、机械泵维修更换与检漏服务，适用于日立、FEI、Zeiss、JEOL、Tescan 全品牌，正规注册企业，可开具增值税专用发票，原装正品保障。故障诊断请加微信：13926808972，提供故障现象即可快速定位。